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API公司XD系列激光干涉儀型號：

        一維測量系統(tǒng)XD –1D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
        三維測量系統(tǒng)XD –3D
        五維測量系統(tǒng)XD –5D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
        六維測量系統(tǒng)XD –6D 標(biāo)準(zhǔn)型&精密型

良好的結(jié)構(gòu)設(shè)計：

API公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計，將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準(zhǔn)確性。

主要特性：

??一次安裝能測量6項精度指標(biāo)包括線性定位誤差、XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角
??把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
??兩點調(diào)光線.無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
??傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時間；API干涉儀只約需半天!
??測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺時, 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機床裝配調(diào)試

六維測量系統(tǒng)XD –6D激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

  5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
  1. 線性：0.5ppm .
  2. 測量范圍：40米(1D可選80米)
  3. 線性分辨力：0.001um.
  4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
  5. *大范圍：800角秒
  6. 滾動角精度：1.0角秒
  7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
  8. 直線度*大范圍：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 溫度精度：0.2攝氏度
  11.濕度精度：5%
  12.壓力精度：1mmHg

圖1：六維測量系統(tǒng)XD –6D激光干涉儀

儀器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉儀的各項參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國家和標(biāo)準(zhǔn)上的。這些精度都經(jīng)過美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)、中國計量科學(xué)研究院和德國PTB等機構(gòu)的檢驗。
攜帶方便、操作簡單：
全套系統(tǒng)重量僅為15千克.可以裝入一個小型工具箱內(nèi)。由于采用了湊型設(shè)計.XD Laser體積小，測量機床時無需使用三 腳架，使測量基準(zhǔn)與機床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡化了測量程序 (免拆機床護罩)。集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟， 減少了調(diào)整時間，提高了機床使用效率。
連續(xù)生產(chǎn)與*方案：
為了避免突然停機、停產(chǎn)，API公司為現(xiàn)代化的機加工車間提供*測量解決方案，也就是*方案。長期以來.車間管理人員一直以1D激光測量系統(tǒng)來繪制機床誤差圖及進行校準(zhǔn)。而這樣一來，想要測量完整的21項參數(shù)。則需要進行21到24次單獨的安裝調(diào)試.而且每一軸的每一次測量都需要1-2小時時間.因此，整個機床的測量過程通常要占用兩到三個工作日.這就使得機床長時間處于停工狀態(tài)，嚴(yán)重影響了車間的利潤率和生產(chǎn)能力。采用API公司的XD Laser激光干涉儀就*避免了上述缺陷使得對機床的測量快捷、簡便。