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XD Laser 6D 激光干涉儀解析

一、核心優勢

二、系統組成架構

三、工作原理詳解

1. 第一束光（長度測量）：光束經錐角反射棱鏡反射后，返回干涉儀與參考光束產生干涉并形成條紋。光學相位探測器識別條紋后，通過電子計數記錄精確長度位置，可實現微米級甚至納米級位移測量。

2. 第二束光（直線度測量）：作為直線度測量的參考光束，構建測量基準。傳感器與參考光束的相對位移由傳感器內的橫向光電二極管監測，通過分析位移數據計算機床導軌的直線度誤差。

3. 第三束光（角度測量）：為傳感器內小型光電測角儀提供參考光源。測角儀通過檢測光束角度變化，實現對俯仰角和偏擺角的精確測量，捕捉機床運動中的角度偏差。

四、應用場景

五、技術特點總結